一、前言

隨著我國半導體、制芯業的發展，高純氣體管道的應用也越來越廣泛，象半導體、電子、醫藥、食品等行業都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對于我們來說也越來越重要。

二、適用范圍

本工藝主要適用于電子、半導體廠房的氣體管道安裝、測試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時也適用于醫藥、食品等廠房的潔凈管道施工。

三、工藝原理

    根據工程特點，工程的施工前后分為三個步驟，每一步都要經過嚴格的質量和潔凈度檢查，***步是管道的預制，為保證潔凈要求，管道的預制一般是在1000級的預制間內進行；第二步是現場安裝；第三步是系統的測試，系統測試主要是對管道內的塵埃粒子、露點、含氧量、碳氫化合物的含量進行測試。

四、主要施工要點

（一）施工前的準備

    1、組織勞動力，準備施工中使用的機具、設備。

    2、搭建預制間，潔凈度1000級。

    3、施工圖分析，根據工程特點及實際情況編制施工方案，做好技術交底。

（二）管道預制

    1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現場的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級的預制間中預制，施工人員應穿潔凈服，使用的工機具應保證潔凈，另外施工人員應有較強的潔凈意識，施工過程盡量減少對管子的污染。       

     2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面和管軸心線垂直，切管時應采取措施避免外界的灰塵、空氣對管子內部的污染，下好的料應分組編號以便于組對焊接。       

     3、管道焊接，管道焊接前應先編制焊接程序輸入到自動焊機，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數一直儲存在焊機里，自動焊機焊接時又非常穩定，所以焊縫質量也是合格的。焊接質量由微機控制，減少了由于人為因素對焊接質量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質的焊縫。

    4、焊接工序

 高純氣體管道施工

（三）現場安裝

1、高純氣體管道的現場安裝應整潔干凈，安裝人員必須戴潔凈手套。

2、支架設置距離應符合圖紙設計要求，每一固定點套上EP管專用的橡膠套。

    3、預制好的管子運到現場，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔上支架后，立即上管卡。

4、現場的管道焊接和預制階段管道焊接程序相同。

5、焊接完畢經有關人員對焊口樣品及管道上的焊口檢驗合格后，貼焊口標簽，填寫焊接記錄。

（四）系統測試

1、系統檢測是高純氣體施工的***后一環，它是在管道壓力試驗、吹掃結束后進行。

2、系統測試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、露點及碳氫化合物應符合要求。

3、指標的檢測是通過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，說明這條管路指標合格了。

五、材料

高純氣體管道按其流通介質的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝性能。